产品介绍
LV-SC400M-3D三维显微扫描激光测振仪，配备显微扫描模块，激光光斑可达微米量级，可实现多点显微扫描测量，快速完成多点显微模态振型测量，是一款全新的集多功能于一体的非接触式振动测量仪器，也是一款可视化测量、分析理想工具。配备频闪分析模块，实现面内振动测量。可以精确测量MEMS等微小结构元器件的振动状态（频率、速度、位移、模态等信息），设备抗干扰性强，具有极高的分辨率，还可以进行ODS以及模态分析。
特点
●非接触式测量技术实现微小待测物速度、位移、加速度以及振动频率的数据测量；
●激光光斑极小，微米级；
●根据客户需求配置不同工作距离的物镜选择；
●配有同轴照明装置和相机，可以方便迅速地确定测量位置；
●优越的带宽和动态范围；
●超高光学灵敏度，超低噪声；
●高空间分辨率；
●配备显微扫描模块，快速完成多点显微模态振型测量；
●配备频闪振动分析模块，实现面内振动测量
应用领域
技术参数
面外振动测量 | |
激光波长 | He-Ne laser 632.8nm |
激光功率 | ＜2mW |
机械接口 | M5螺纹(固定在特定支架上) |
扫描角度(VxH) | 4°x4° |
扫描参数 | 角分辨率<0.001°，角度稳定性<0.001°/h，最大30点/秒 |
最大测量速度 | ±12m/s |
最大测量位移 | ±50mm |
频率范围 | DC～3MHz 30kHz～25MHz（选配高频解码器) |
滤波设置 | 高通、低通滤波，跟踪滤波 |
最大误差 | ＜±1% |
速度分辨率 | 优于0.001μm/s/√Hz |
位移分辨率 | 优于0.31pm |
模拟输出 | BNC接口输出 |
数字输出 | RJ45千兆以太网口 |
低通滤波器 | 500Hz,1kHz,2kHz,10kHz,20kHz,40kHz,50kHz,80kHz,100kHz,160kHz,250kHz, 320kHz,500kHz,1000kHz,1500kHz,3000kHz(VD-21/DD-32解码器)/ 100kHz,1MHz,2MHz,4MHz,10MHz,25MHz(DD-25M解码器) |
跟踪滤波器（选配） | Slow，Medium， Fast，Off |
信号电平显示 | 反光信号强度显示、DC电压信号输出（BNC接口，0…5V） |
显示 | 带交互式菜单引导设置的彩色屏 |
工作温度 | +3 °C … +45 °C |
存储温度 | -10 °C … +65 °C |
相对湿度 | <90% |
供电电源 | 100...240 VAC±10 %, 50/60 Hz |
防护等级 | IP54 |
面内振动测量 | |
频率测量范围 | 1Hz-2.5MHz |
最大速度 | 10 m/s |
位移分辨率 | 5 nm |
时间分辨率 | 100ns (频闪曝光时间) |
频闪最大间隔时间 | ±40 ns |
*产品性能及参数可定制化，接受集成及非标定制
| 物镜型号 | 倍率 | 数值孔径（NA） | 测量距离（WD） | 焦点直径 | 视场（长*宽） |
MPlanFL5X BD | 5X | 0.15 | 13.5mm | 4.8μm | 1.50*1.10mm |
MPlanFL10X BD | 10X | 0.3 | 9mm | 2.9μm | 0.74*0.55mm |
MPlanFL20X BD | 20X | 0.45 | 3.4mm | 1.5μm | 0.37*0.28mm |
LMPlan50X | 50X | 0.55 | 7.8mm | 1.1μm | 0.15*0.10mm |
注：可根据客户需求配置其他倍率长工作距物镜
常用解码器 | |||||
速度解码器 | 描述 | 频率范围 | 量程 | 速度范围 | 速度分辨率 |
VSM-03 | 中频速度解码器 | 0-50kHz | 3 | ±500mm/s | 0.1μm/s/√Hz |
VDM-21 | 宽带数字速度解码器 | 0-3MHz | 21 | ±12m/s | 0.001μm/s/√Hz |
位移解码器 | 描述 | 带宽 | 量程 | 位移范围 | 位移分辨率 |
DDM-32 | 宽带数字位移解码器 | 0-3MHz | 32 | ±2m | 0.31pm |
DDM-25M | 超宽带数字位移解码器 | 30kHz-25MHz | 16 | ±500μm | 0.31pm |
